Zur routinemäßigen Überprüfung im Rahmen von Werkstoffuntersuchungen gehört die Überprüfung der chemischen Zusammensetzung des vorgelegten Bauteils mit einem optischen Vakuum-Emissionsspektrometer. Eine besondere Aussagekraft zur Bestimmung der Randschichtzusammensetzung bietet die Glimmentladungsspektroskopie (GDOS).

In begründeten Fällen erfolgt die Bestimmung des Wasserstoffgehalts nach dem Verfahren der Schmelzextraktion. Kleinste Teilchen, dünnste Schichten und Beläge können am Rasterelektronenmikroskop mittels der energiedispersiven Röntgenanalyse vermessen werden.